_{調(diào)試時間}

 _{新的產(chǎn)品調(diào)試30分鐘，有數(shù)據(jù)保存的產(chǎn)品10分鐘}

 _{壓力重復(fù)精度}

 _±0.2KGF

 _{CCD調(diào)節(jié)}

 _{XY軸±200MM、垂直度±5度、調(diào)節(jié)完成后鎖定}

 _外形尺寸

 _{2500MM(長)*1100MM（寬）*2000MM（高）}

 _光源

 _同軸光

 _搬運

 _{落地式滾輪移動}

 _{適用產(chǎn)品尺寸}

 _{Max: 250MM*140MM（8寸內(nèi)）}

 _重量

 _約800KG

 _定位精度

 _±0.1MM  

 _{電源供應(yīng)}

 _{機器電源AC220V±10%、50Hz、5KW}

 _測試頭

 _{硅膠壓頭，壓力可調(diào)}

 _{真空泵電源AC220V±10%、50Hz、2KW}

 _{測試頭升降}

 _{壓力可調(diào)、速度可調(diào)、時間可調(diào)}

 _{環(huán)境要求}

 _{無易爆易燃和腐蝕氣體 40℃±5℃; 40~85%RH}

 _{測試位微調(diào)平臺調(diào)節(jié)范圍}

 _0-10MM

 _{氣源供應(yīng)}

 _{0.5~0.7Mpa，干燥氣源。}